自动化微区膜厚测试。高精度自动化三维控制系统和双激光定位系统，对微小异形（弧形、拱形、球面等）产品进行快速对焦精准分析；可变焦高精摄像头，搭配距离补正系统，实现对台阶、深槽、沉孔产品的测试需求。