SUPER TECH ST系列质量流量控制器是最新一代工业微机电的产品，采用基于微机电系统（MEMS）的流量传感器，适用于广泛的气体流量精密测量领域。 ST系列量程覆盖范围10sccm-20slpm（氮气等效），控制范围从1%满量程到100%满量程。提供Modbus-RTU（基于RS232或RS485）数字信号或模拟信号（4-20mA或0-5V）通信接口。所需的电源电压为15-32V。 ST系列紧凑设计只有68mm的长度和80mm的高度，高度是传统产品尺寸的3/5，并且本产品可以在360°任意角度下安装使用。