原位程序升温化学吸附分析仪，以MEMS自控温谐振式微悬臂梁传感芯片为检测核心，摒弃在尾气气路中检测气体分子的方法，实现原位实时的程序升温分析功能。 该仪器的工作原理和方法为世界首创，与传统化学吸附分析仪相比，除了体积更小巧外，本仪器具有样品消耗量少、质量分辨率高、控温范围广、分析速度快等优点，可广泛应用于TPD、TPR、TPO等程序升温分析测试。