芯片式热重分析仪，以MEMS自加热谐振式微悬臂梁传感芯片为核心，替代传统的天平+炉管加热方式，实现片上热重分析功能。该仪器的工作原理为世界首创，与传统仪器相比，除了体积更小巧外，具有分析速度更快、灵敏度更高、样品消耗量更少、升温速率和传质影响小、可快速升降温等优点，可广泛应用于各类材料的研究开发、工艺优化与质量监控等领域。